MEMS器件高温贮存试验
来源:忠科集团
忠科集团提供的MEMS器件高温贮存试验,MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)器件的高温贮存试验是指在一定的高温环境下,对MEMS器件进行长时间的贮存测试,报告具有CMA,CNAS认证资质。

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)器件的高温贮存试验是指在一定的高温环境下,对MEMS器件进行长时间的贮存测试,以评估其在高温条件下的稳定性和可靠性。
在这个试验中,MEMS器件会被放置在特定的高温环境中,比如高于常温的烘箱或者热老化试验箱中,持续一段时间(可能几天、几周甚至几个月)。试验期间,会定期或不定期地对器件进行性能检测和参数测量,观察其是否出现性能衰退、参数漂移、结构变形、材料老化等问题。
高温贮存试验的主要目的是为了了解和评估MEMS器件在高温环境下的长期稳定性,以及预测其在实际应用中的使用寿命和可靠性。这对于那些需要在高温环境下工作或者运输的MEMS器件来说尤为重要,例如用于汽车、航空航天、石油勘探等领域的MEMS传感器和执行器。
检测标准
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)器件的高温贮存试验标准通常会参照国际或国内的相关标准进行,以下是一些常见的参考标准:
1. JEDEC JESD22-A101-B:这是JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)制定的集成电路高温贮存试验标准。该标准规定了在高温环境下贮存半导体器件的条件和程序。
2. MIL-STD-883H:这是美国军用标准,其中包含了对微电子器件的高温贮存试验要求。该标准详细规定了试验的温度、时间和湿度等参数。
3. IEC 60068-2-1:这是国际电工委员会(IEC)制定的环境试验第2-1部分:试验方法:低温试验和高温试验。虽然这个标准主要针对的是电气和电子设备,但其高温贮存试验的部分内容也可以作为MEMS器件的参考。
具体的试验条件可能会因器件的类型、材料和应用而有所不同,一般包括以下参数:
- 温度:通常会在高于常温的条件下进行试验,例如85℃、100℃或125℃等。
- 时间:试验时间可以根据器件的预期使用寿命和应用需求来确定,通常会持续几天到几个月不等。
- 其他条件:例如湿度、大气压力等,也可能需要根据器件的具体情况来考虑。
在试验过程中,需要定期对器件进行功能测试和性能评估,以确保其在高温贮存后的性能和可靠性。
检测流程
MEMS(微电子机械系统)器件的高温贮存试验流程通常包括以下步骤:
1. **试验前准备**:
- 确认样品:明确待测试的MEMS器件型号、数量和规格。
- 样品状态:确保器件在试验前处于正常工作状态,无明显缺陷或损坏。
- 记录初始数据:记录器件的初始性能参数,如灵敏度、精度、稳定性等。
2. **试验条件设定**:
- 设定温度:根据设备规格书或者相关标准,设定高温贮存的温度。常见的高温贮存试验温度可能包括85℃、100℃、125℃等。
- 设定时间:设定器件在高温环境下贮存的时间,这通常由产品规格或者行业标准决定,可能为几天、几周甚至几个月。
3. **试验执行**:
- 将MEMS器件放入高温试验箱中,确保试验箱内的温度均匀且稳定在设定值。
- 在贮存期间,定期监控并记录试验箱内的温度,确保其保持在设定范围内。
- 在贮存结束后,立即从高温试验箱中取出器件。
4. **试验后评估**:
- 观察外观:检查器件是否有明显的物理变化,如变形、变色等。
- 性能测试:对器件进行性能测试,对比试验前后的数据,评估高温贮存对器件性能的影响,如灵敏度、精度、稳定性等是否发生变化。
- 结果分析:根据测试结果,分析高温贮存对MEMS器件的影响程度,判断器件是否仍能满足使用要求。
5. **报告编写**:
- 编写试验报告,详细记录试验过程、试验条件、观察结果和性能测试数据。
- 对试验结果进行分析和解释,提出可能的原因和改进措施。
以上是一个大致的MEMS器件高温贮存试验流程,具体操作可能会根据器件类型、试验目的和相关标准进行调整。